引進德國LPKF最新機械滿足定位和切割技術的應用需求和TMS系列CNC影像量測機輔助使用,配合智能科技設定數據及智能管理系統,將人為的錯誤成本降低,提高更良好的品質及更永久的壽命。
晶圓模板
流體鋼網
濾嘴部件
高精度、高產出
切割幅面(X/Y) 600 mm x 800 mm (23.6” x
31.5”)
可裝最大鋼框尺寸 740 mm x 1800 mm x 40 mm
(X/Y/Z) (29.1” x 70.9” x 1.6”)*
可裝卡最大鋼板尺寸 650 mm x 850 mm
(X/Y) (25.6” x 33.5”)
切割材料厚度 Up to 1 mm (40 mil)
軸向精度 ± 2 µm
支援自動對焦、搖桿操作及接觸式探針測量
軟體支援強大元素構造,多元化測量方法(自動尋邊、對比測量以及局部訪大採點等
嵌入式模組伺服控制驅動馬達,機電回應速度快速
雙重閉環運動控制,具有精確的高速運動定位性能
國外品牌攝像機與光學變焦鏡頭,解析度達0.6微米
花崗岩平臺,結構穩定,抗震能力佳
X、Y、Z軸行程 800 x 600(氣浮運動) x 150
影像系統 攝像:彩色1/2CCD攝像機
國產鏡頭(物鏡倍率:0.7X-4.5X、影片倍率:23.5X-148X、物方視野:11.1-1.7mm
量測軟體 2.6D量測軟體
光源 表面光源與透射光源均採用LED,
亮度可調